Study program: 176 Micro- and Nanosystem Engineering
Degree: Master
Type of module: lectures, practical work
Lecturer: Professor, Doctor of Science Ihor Bondarenko / Проф. д.т.н. Ігор Бондаренко
Language: Ukrainian & English
Credit Points: 6 ECTS
Description:
The purpose of the discipline is to study the principles of construction, the basics of functioning and the features of non-destructive control of geometric and electrophysical parameters of micro- and nano-sized objects and structures. These are methods of optical control based on various modifications of electron microscopes, as well as a direction related to the use of various types of scanning probe microscopes (SPM), which has been developing very actively in recent years. Currently, practically no research in the field of surface physics and thin film technologies is complete without the use of SPM methods. Some modifications of SPM are effectively used for the study of liquid samples, including those of biological origin. The knowledge gained during the study of the discipline will be useful for creating a general idea about the possibilities of using such devices, and also, if necessary, can reduce the time of acquiring professional skills when working with them.
Метою дисципліни є вивчення принципів побудови, основ функціонування та особливостей неруйнівного контролю геометричних та електрофізичних параметрів мікро- та нанорозмірних об′єктів і структур. Це методи оптичного контролю на основі різних модифікацій електронних мікроскопів, а також напрямок, пов′язаний з застосуванням різних типів скануючих зондових мікроскопів (СЗМ), який дуже активно розвивається в останні роки. В даний час практично жодне дослідження в галузі фізики поверхні та тонкоплівкових технологій не обходиться без застосування методів СЗМ. Деякі модифікації СЗМ ефективно використовуються для дослідження рідинних зразків, у тому числі біологічного походження. Знання, отримані при вивченні дисципліни, будуть корисними для створення загального уявлення про можливості застосування таких приладів, а також, при нагоді, можуть скоротити час надбання професійних навиків при роботі з ними.